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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心

(front-opening unified pod; FOUP)是十二吋晶圓廠中的晶圓傳送設備，每一批晶圓（由25 片或13 片晶圓組成）擺放在潔淨氮氣的晶圓傳送盒內，晶圓傳送盒內之晶圓在某些作業 ...

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