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EFEM 晶圓傳送設備 - 盟立自動化

EFEM(Equipment Front End Module)為半導體Loader/Unloader ，可為不同晶圓尺寸提供設備前端上/下料之自動化模組。盟立EFEM可以完全滿足客戶製程機台需求與限制， ...

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