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晶圓移載系統 - 上銀科技

HIWIN晶圓移載系統(EFEM)是完整的自動化系統，HIWIN透過垂直整合，搭配自行研發之控制系統，能彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點在 ...

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