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電漿晶圓蝕刻 - Tech-X

低溫電漿的一個常見用途是在被稱為晶圓蝕刻的領域，其中電漿衝擊晶圓，以蝕刻各種微電子裝置，如記憶體。這種方法的一個優點是，蝕刻更乾淨、更均勻，從而實現更好的品質 ...

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