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晶圓清洗製程
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晶圓製程提升信紘科吃補丸 - 工商時報
過去成熟製程中的清洗程序較常使用溶入二氧化碳的碳酸水,但5奈米以下先進製程無法使用酸性機能水,已開始轉為採用鹼性的氨氣機能水,而支援細間距的晶圓 ...
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