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淺談超臨界流體技術應用於製程清潔生產

新一代的製程中，晶圓具有渠溝或高深寬比結構時，由於液體的表面張力大，. 不易進入結構內部，因此清洗困難且不易乾燥。 超臨界二氧化碳(Supercritical Carbon Dioxide, ...

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