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晶圓清洗製程
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半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? - 吳俊逸的數位歷程檔
答:將形成在晶圓表面上的薄膜全部,或特定處所去除至必要厚度的製程。 蝕刻種類: ... 金屬蝕刻後為何不可使用一般硫酸槽進行清洗?
確定!
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