濕式化學清洗(蝕刻)設備:部件清洗, 晶圓清洗(cassette type), 芯片製程之濕蝕刻(cassette type). 2. 供酸櫃(CDU): 供應酸、鹼、有機溶液. 3. 晶圓乾燥機: 將晶圓表面的 ...
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