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晶圓濕式製程中乾燥法: 未來的挑戰 - 科技產業資訊室

這項特殊的同一清洗作業結合浸泡與乾燥的步驟，將促成縮減工具尺寸的可能性。一個標準的表面準備工作是在乾燥處理前的氟氫蝕刻的作業，它必須避免疏水性晶圓表面與空氣接觸 ...

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