晶圓清洗 機 · 內建真空產生器與自動排水裝置。 · 使用二流體噴嘴加強洗淨效果。 · 可選用純氮氣式的清洗吹乾流程。 · 程式控制器可加中/英文顯示板。 · 可清洗6”~12”晶片,並可 ...
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