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晶圓洗淨設備
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https://patents.google.com/patent/TWI673566B/zh
TWI673566B - 光罩洗淨設備以及光罩洗淨方法 - Google Patents
按,近年來半導體製程中積體電路的線徑越來越細,目前已發展至10奈米以下,因此製程中的任何污染物都可能直接影響到相對製程或產品的良率。在半導體製程中,用于晶圓(Wafer) ...
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