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使用AOI技術取代人力檢測晶圓缺陷並提升稼動率之研究

隨著技術的進步，檢測設備也用於面板、印刷電路板、半導體、代工廠等產業。本論文針對的檢測物為圓形及方形尚未切割的晶圓。目前小型半導體公司生產線上的晶圓檢測通常 ...

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