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楊怡寬博士新型次微米級氣泡產生裝 - 東海大學機構典藏系統

術及濕式蝕刻技術在矽晶圓上鑿出次微米級通孔。選擇此系統製備次 ... etching)和與晶格方向相關非等向性濕式蝕刻(anisotropic wet etching)；.

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