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電鍍銅晶格 - Smuzp

橡膠環(Fig.1 B)以確保蝕刻液不外漏，矽晶圓則置於橡膠環(Fig.1 B)跟純銅 ... 很大的影響，一般電鍍銅的晶格方向最好是(111)方向，銅晶格方向為(111)具有較大高的抗 ...

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