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LNO/Si 異質晶圓接合與界面性質研究研究成果報告(精簡版)

晶圓 上成長鈮酸鋰晶體薄膜，則其成長方向受到底下矽基材. 其成長方向受到底下矽基材 ... 雖然能避免晶格常數不同所造成的問題，但鈮酸鋰與矽兩者的熱膨脹係.

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