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在（110）晶圓上以溼式蝕刻方法製作各式微結構之研究

關鍵字: MEMS;(110)晶圓;<110> wafer;Hexagonal-like structure;Bulk etching ... 在3D立體似六角型結構方向，主要利用(110)的晶格分佈情況，再配合光罩的設計，就可 ...

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