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半導體材料~ 積體電路

晶圓 /晶片/元件. 晶圓/ 晶片/ 元件 ... 圖1.3 (a)矽(鑽石晶格)，(b)砷化鎵(閃鋅晶格)的結晶結構 ... 圖1.5 矽的蝕刻圖案(a)<111>和(b)<100>長晶方向，以(110)平邊以.

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