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瑞耘Q4業績估持穩Q3；新廠預計明年啟用

... 零組件，產品包括晶圓夾持環、高真空腔體、氣體擴散頭、靜電吸盤等，並提供維修及清洗服務，設備部分則以晶圓旋乾機、批次蝕刻去光阻機等為主。

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