暫時在晶圓上塗佈光阻劑 ... 晶圓清洗. • 脫水烘烤. • 底漆層及光阻塗佈. • 軟烘烤. • 對準及曝光 ... 增加光阻附著性. • 基本步驟. – 化學清洗. – 洗滌. – 旋乾 ...
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