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清洗製程

來源：晶圓原材料、化學品。 – 影響：降低氧化物崩潰電壓；載 ... 阻，清洗晶圓，達到酸鹼中和，. 以進行後續製程。 清洗劑： ... 以利環保. • 亦可使用旋乾乾燥 ...

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