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8吋後段化學清洗蝕刻工作站儀器簡介:

二、機台之配置了2個化學槽，分別是：高溫石英靜置槽、PVDF循環. 槽；並配置2個純水快沖槽(Quick Dump Rinse)以利晶圓之清洗。另有. 附屬8吋晶圓用旋乾機一台,本機台能 ...

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