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矽晶圓微量金屬超潔淨研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

傳統的溼式晶圓清洗方法包含了大量化學試劑和純水的使用，不僅造成了環保和成本的問題 ... 此外，我們在Class 1000的無塵室中自行建立了馬南哥尼乾燥技術之晶圓乾化系統。

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