濕式化學清洗(蝕刻)設備:部件清洗, 晶圓清洗(cassette type), 芯片製程之濕 ... 3. 晶圓乾燥機: 將晶圓表面的水分去除 ... 可搭載晶圓旋乾裝置,乾/溼進,乾出.
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