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快速興建半導體晶圓製造廠作法之研究__臺灣博碩士論文知識加 ...

晶圓尺寸來越大,關鍵尺寸越來越小,一座晶圓廠的投資也越來越高,快速興建半導體晶圓廠可 ... 設計及同步建造工程是快速完成一座世界級水準的大尺寸晶圓廠的二個核心觀念.

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