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晶圆搬送机AL120

技术规格 ; 搬运顺序 · 背面宏观检查, ○ ; 搬运顺序 · 二次背面宏观检查, ○ ; 晶圆定位（每90º）, 非接触（定位平边／V型槽） ; 适配显微镜型号, 奥林巴斯半导体检查显微镜MX61.

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