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晶圓製造與磊晶 - Scribd

晶體碎片和多晶態矽再利用• 懸浮帶區法– 純度較高(不用坩堝) – 價格較高, 價格較高晶圓尺寸較小(150 mm) – 分離式功率元件. 22 矽晶棒拋光平邊或刻痕矽晶棒拋光,平邊或 ...

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