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智慧型高精度晶圓邊緣夾持定心裝置 - Quartet Mechanics

V槽晶圓或平邊晶圓（軟硬體可以配寘選擇）. 速度：< 3 秒. 重複性（中心）：50μm. 重複性（角度）：0.10° (200mm 晶圓)， 0.06°(300mm晶圓). 真空吸附式晶圓對心裝置（ ...

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