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晶圓平邊
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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊
所以,晶圓加工過程需藉由圓邊作業避免這些現象發生。 該作業可利用自動化的邊磨機進行輪磨(Edge Grinding),除了研磨晶邊. 的外形,亦能精確控制晶圓的外徑與平邊的 ...
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