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多晶型6H-SiC 晶體成長之研究The Study of 6H ... - 遠東科技大學

而碳化矽晶圓製作結果，如圖6 所示。 圓徑整形. 平邊研磨. 碳化矽晶體. 晶圓倒角. 晶圓拋光.

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