矽晶棒拋光平邊或刻痕. 平邊, 150 mm和更小... 化學機械研磨製程. 研磨液. 研磨墊. 壓力. 晶圓夾具. 晶圓... 因為比晶圓晶體有較低的氧碳濃度,可增強動態隨機記憶體.
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