(一) 碳化矽晶圓產品規格( SiC Wafer Specification) ; 副參考面長度, 18.0mm±2.0mm ; 晶片邊緣, 倒角 ; 微管密度, ≦5個/cm · ≦10個/cm ; 多型, 不允許 ; 電阻率, ≧ 1E7Ω‧cm ...
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