Proforma 300i使用2顆MTI高精度電容式位移計,量測晶圓厚薄度,並有標準片(選購)校準 ... 可量測多種晶圓尺寸‧ 高精確度. 詳細規格: 項目, 說明. 晶圓尺寸, 76-300 mm.
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