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全球半導體產業PFCs排放減量現況技術報導

若目前規格化的PFC排放趨勢持續下去且晶圓需求的預測準確，則全世界此工業將會達到2010年的目標；然而，半導體產業必須積極設立排放較低之先進的200 mm和300 mm晶圓廠，並 ...

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