晶圓尺寸 :帶框200mm(8“)和300 mm(12”) ╴處理帶框晶圓╴最高可靠性和可用性╴兩個6軸機器人以優化佔地面積╴最高8個運輸盒和材料包裝站╴自動end effector更換 ...
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