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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

SiC晶圓的主流尺寸一直是150mm (6吋)，每片晶圓能製造的晶片數量不大， ... SiC單晶生長取得了重大突破後，全世界SiC產業一直在150 mm產業方向發展。

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