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SSY-10010（储片盒内晶圆的自动搬运系统）搬送的系统 - JEL ...

型号名称, SSY-10010. 使用环境, 洁净间内的大气环境. 可对应片盒的种类, 200 mm 储片盒, 200 mm 片盒. 晶圆尺寸, 200 mm. 被搬运物, 硅片晶圆, 片间垫片.

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