12/8吋晶圓及薄型工件設備尺寸(寬x深x高) 60X80X60CM 電源入力AC 110V 60Hz/單相燈管型態/功率/產地柵型低壓汞燈X1 /550W/臺灣紫外光主波長254nm UVC照度(新燈) 30 ...
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