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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

合肥鑫晟光電科技設備與製程工程師@石大小生在其知乎專欄上分析了SiC生產的兩個難點，即基板和磊晶生長。與傳統的單晶矽使用提拉法不同，目前規模化生長 ...

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