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12吋晶圓單片型

適用產品, 12/8吋晶圓及薄型工件. 設備尺寸(寬x深x高), 60X80X60CM. 電源入力, AC 110V 60Hz/單相. 燈管型態/功率/產地, 柵型低壓汞燈X1 /550W/台灣.

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