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何謂MEMS？

SOI晶圓: SOI是Silicon On Insulator的縮寫，是指在氧化膜上形成了單晶矽層的矽晶圓。已廣泛應用於功率元件和MEMS等，在MEMS中可以使用氧化膜層作為矽蝕刻的阻擋層， ...

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