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晶圓奈米製程
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網傳半導體技術有多強?專家解析半導體製程的實際意義
由於光刻機解析度代表能達到的最小奈米製程尺寸,所以目前晶圓代工產業最重要的是掌握極紫外光(EUV)的先進光刻機。
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