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ASML 柏林廠火災最新：EUV 設備零件產區受影響

關於極紫外光（EUV）微影設備，火災影響了晶圓夾（wafer clamp）一部分 ... 需要的零組件，當中包括晶圓固定工作台、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。

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