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wafer handling systems - 半導體工業 - Coreflow

在晶圓處理的極端純度要求的推動下，CoreFlow 解決了減少晶圓背面污染的挑戰。利用其獨特的氣動機械技術，CoreFlow 的非接觸夾盤可安全地處理半導體晶圓，施加正壓和真空力 ...

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