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第三章微夾持器之設計與製程規劃

光阻塗佈於矽晶圓上，並利用光罩1 進行黃光微影，得到所需之圖案。 2. 光罩2：為應用於ICP-RIE 製程與光阻犧牲層製程，皆是使用SU-8 光阻. 當作夾持器結構，其圖案為透 ...

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