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207558750 一种用于微孔加工的晶圆夹具 - Patentscope

本实用新型公开一种用于微孔加工的晶圆夹具，包括环状支撑座、进气通道、出气通道、固定件，环状支撑座中间开设悬空孔，晶圆边缘由环状支撑座支撑，当晶圆的中间正对 ...

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