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Bernoulli Chuck

上述氣流最後通過Chuck吸附表面和晶圓表面之間的間隙釋放到外部空間。 氣流在旋風吸盤和晶圓之 ... 4.旋風式真空吸盤Chuck相較於伯努利原理Chuck具有更強吸力的優點。

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