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快速而精確的晶圓檢測| SICK

... 測器實現對機械人控制器的管理，從而可最佳化機械人夾爪中相對其存放座標的晶圓精確定位。 ... 聚焦型透鏡; 掃描原理與單道原理; 塑膠套、金屬保護軟管或特氟龍套.

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