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晶圓原理
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半導體製程簡介
C.磊晶. 回目次. 二、半導體製程. 13-1 半導體製程簡介. 矽晶圓製作IC ... 將光罩上的線路、元件圖案,投影至晶圓表面,以便後續蝕刻出圖案。 ... 原理與製程步驟.
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