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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

Ink-jet Printing 之基本工作原理 ... RCA清洗法可以有效去除晶圓上塵粒、有機物及金屬離子 ... 極氧化層的品質，這表面氧化層必須在晶圓清洗過後加以去除。

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