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利用田口實驗分析晶圓製程靜電式晶圓座(ESC)使偏移改善參數 ...

ESC 利用晶圓與承載具之間的靜電力來吸附晶圓，其原理是當ESC 作用時，會施加一電極電壓來產生 ... 而製程完畢後會再施加一相反的電極電壓來消除晶圓表面的靜電電荷， ...

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